2022年5月23日,第九届国际光谱椭偏大会(9th International Conference onSpectroscopic Ellipsometry, ICSE-9)以线上的形式在北京召开。自1993年召开第一届ICSE以来,国际光谱椭偏大会一直是世界各国与会者讨论椭偏光学新进展的地方,为从事光学椭偏研究和应用的科学家和工程师提供直接的知识交流和学术讨论机会。
颐光科技作为先进椭偏测量引领者,在本次大会上共发表2篇口头报告、1篇口头展示报告和3篇墙报,展示公司近年来在椭偏测量领域的相关进展。其中应用总监陶泽博士作了题为“Optical critical dimension measurements in advanced integrated circuit”的口头报告,介绍了公司椭偏仪产品在集成电路膜厚OCD量测中的应用;系统部经理陈军先生作了题为“Integrated application of spectroscopic ellipsometer for CMP processmonitor”的口头报告,展示了公司椭偏仪产品在半导体化学机械抛光工艺集成式膜厚在线监测中的应用。
颐光科技预祝第九届国际光谱椭偏大会举办圆满成功,并期待下一届的椭偏盛会。颐光科技将一如既往深耕椭偏技术,为从事光学椭偏研究的科学家和工程师提供高性能的椭偏产品及解决方案。