Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd

      武汉颐光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是中国大陆专业从事高端椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的高新技术企业。公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办，与华中科技大学紧密合作，是椭偏光学仪器领域最具优势的技术团队。
      公司注册于武汉东湖国家自主创新示范区，立足光谷，面向全球，为科研和工业用户提供仪器、软件、服务等综合解决方案。产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜、光刻材料等众多领域。
      颐光科技充分利用区域的交通便利和人才优势，立志成为中国最优秀的光学仪器设备研发创新平台和产业化基地，立志成为国际知名企业值得信赖的合作伙伴。

 

wei.peng@eoptics.com.cn

Wuhan Eoptics Technology Co,.Ltd

http://www.eoptics.com.cn

 

 

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Exhibitor Session：

5.25(周三) 08:30-08:45, 17:35-17:50;

5.24(周二) 09:35-09:50, Optical critical dimension measurements in advanced integrated circuit 

5.27(周五) 11:40-11:55, Integrated application of spectroscopic ellipsometer for CMP process monitor

5.25(周三) 11:50-11:53, Characterization of diffraction grating by Mueller-matrix ellipsometry

5.24(周二) 10:44-10:47,Wavelength-splitting-based machine learning method for robust profile reconstruction in ellipsometry metrology

5.24(周二) 10:47-10:50,09:35-09:50,An accurate and efficient library search method in optical scatterometry

（转载自“The 9th ICSE 第九届国际光谱椭偏大会”会议官网，可点击链接访问）