近年来,由于全球缺芯,半导体检测设备市场需求屡创纪录,其市场份额主要被国外大型半导体量测设备企业垄断。随着我国先进集成电路的生产需求以及贸易战导致我国高科技公司相继遭受技术封锁,寻求国产化替代成为了当前贸易环境下国内相关集成电路制造企业的重中之重。然而,我国的集成电路膜厚量测装备开发起步相对较晚,解决国产量测设备技术壁垒、提升国产量测设备品牌任重而道远。2022年7月15日14:00武汉颐光科技有限公司应用总监陶泽博士就国产量测设备的现状、发展趋势等问题接受仪器信息网的访谈,共同探讨半导体量测设备的危与机。
陶泽博士毕业于华中科技大学,一直致力于椭偏测量技术及应用研究。曾参与国家自然科学基金重大研究计划培育项目“基于广义椭偏仪的纳米结构三惟形貌参数测量理论与方法”的研究,并主导完成湖北省科技支撑计划项目“基于MOEMS技术的微型光谱椭偏仪研制”。获国内专利14项,其中授权7项,在Sensors and Actuators A: Physical,Journal of Optics等期刊发表学术论文5篇。