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光学镀膜在手机盖板中的应用
光学镀膜就好比女士化妆，不仅可使玻璃盖板、背板更漂亮，也可以起到抗氧化、耐酸碱等作用，所以在如今这个“看脸”的时代，盖板的光学镀膜是非常重要的，目前常见的包括AR、AF、AG及后盖颜色膜等镀膜应用。
盖板光学镀膜痛点分析
1.AR膜透过率不合格NG
2.颜色膜调色困难，周期较长
3.量产过程产品不稳定，存在色差
造成盖板光学镀膜产品不良的主要因素
1）仿真设计调用材料折射率与镀膜生产中实际材料折射率不符；
2）镀膜设备实际镀层厚度与膜系设计要求不符；
3） 量产过程对镀膜设备稳定性/均匀性缺乏有效评估手段。
椭偏仪在光学镀膜各阶段的作用
1.膜系设计——膜层实际折射率的标定
★镀膜实际折射率的影响因素：供氧量、真空度、电子枪光斑大小、温度等；
★椭偏仪可直接测量获得薄膜材料的光学常数和薄膜厚度，因此通过镀膜机在Si衬底或玻璃衬底上镀单层SiO2、TiO2、Nb2O5、In薄膜，可直接准确测量获得薄膜的光学常数；
★通过调整镀膜机参数，以椭偏仪测量获得的单层SiO2、TiO2、Nb2O5、In薄膜光学常数为反馈，将薄膜材料光学常数调整至最佳状态。此时对应的镀膜机参数即为厚度镀膜时所需设定的最终参数。
2.工艺研发——镀膜设备tolling校正
★通常来说，镀膜机通过晶振来控制镀膜厚度，而实际上由于这种晶振式膜厚仪的精度不足，导致实际镀膜厚度与设定镀膜厚度存在较大偏差。在镀膜机中，可通过工具因子（Tooling值）控制镀膜机的蒸镀速率，进而可对实际镀膜厚度进行调控；
★椭偏仪可以准确测量获得薄膜的厚度，因此可用于校正镀膜机的工具因子（Tooling值），使实际镀膜厚度与设定镀膜厚度一致。
3.量产监控——实时监测各项镀膜指标
★镀膜膜厚是否在设计范围；
★材料折射率有无显著波动；
★透过率是否满足工艺需求；
★色度值是否满足工艺需求；
★反射率是否满足工艺需求。
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SE-VM光谱椭偏仪 ME-Mapping光谱椭偏仪 -
下载链接发布时间：2021-08-08 15:06
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