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玻璃盖板镀膜一站式测量解决方案
测量分析能力: 膜厚/折射率/消光系数/透射率/反射率/色度ALB值 应用阶段: 膜系设计——膜层实际折射率的标定 工艺研发——镀膜设备tolling校正 量产监控——实时检测各项镀膜参数
  • 光学镀膜在手机盖板中的应用

    光学镀膜就好比女士化妆,不仅可使玻璃盖板、背板更漂亮,也可以起到抗氧化、耐酸碱等作用,所以在如今这个“看脸”的时代,盖板的光学镀膜是非常重要的,目前常见的包括ARAFAG及后盖颜色膜等镀膜应用。

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    盖板光学镀膜痛点分析

    1、AR膜透过率不合格NG

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    2、颜色膜调色困难,周期长。

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    3、量产过程产品不稳定,存在色差。

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    椭偏仪在光学镀膜各阶段的作用

    造成盖板光学镀膜产品不良的主要因素在于:

    A;仿真设计调用材料折射率与镀膜生产中实际材料折射率不符。

    B;镀膜设备实际镀层厚度与膜系设计要求不符。

    C;量产过程对镀膜设备稳定性/均匀性缺乏有效评估手段。

    椭偏仪可以有效测量修正上述影响因子,为盖板量产保驾护航。

    1:膜系设计——膜层实际折射率的标定

    ★镀膜实际折射率的影响因素:供氧量、真空度、电子枪光斑大小、温度等

    ★椭偏仪可直接测量获得薄膜材料的光学常数和薄膜厚度,因此通过镀膜机在Si衬底或玻璃衬底上镀单层SiO2TiO2Nb2O5In薄膜,可直接准确测量获得薄膜的光学常数。

    ★通过调整镀膜机参数,以椭偏仪测量获得的单层SiO2TiO2Nb2O5In薄膜光学常数为反馈,将薄膜材料光学常数调整至最佳状态。此时对应的镀膜机参数即为厚度镀膜时所需设定的最终参数。

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    2:工艺研发——镀膜设备tolling校正

    ★通常来说,镀膜机通过晶振来控制镀膜厚度,而实际上由于这种晶振式膜厚仪的精度不足,导致实际镀膜厚度与设定镀膜厚度存在较大偏差。在镀膜机中,可通过工具因子(Tooling值)控制镀膜机的蒸镀速率,进而可对实际镀膜厚度进行调控。

    ★椭偏仪可以准确测量获得薄膜的厚度,因此可用于校正镀膜机的工具因子(Tooling值),使实际镀膜厚度与设定镀膜厚度一致。

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    3;量产监控——实时监测各项镀膜指标

    ★镀膜膜厚是否在设计范围。

    ★材料折射率有无显著波动。

    ★透过率是否满足工艺需求。

    ★色度值是否满足工艺需求。

    ★反射率是否满足工艺需求。

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