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    SE-VM光谱椭偏仪
    SE-VM是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可实现科研/企业级高精度快速光谱椭偏测量,支持多角度,微光斑,可视化调平系统等高兼容性灵活配置,多功能模块定制化设计。
  • 概述

    SE-VM 是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析,适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度,微光斑,可视化调平系统等高兼容性灵活配置,多功能模块定制化设计。



    高精度椭偏测量解决方案;

    超高精度、快速无损测量;

    支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制;

    丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大数据分析能力。



    产品特点

    采用高性能进口复合光源,光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm);


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    高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置,实现Psi/Delta光谱数据高速采集;

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    支持系列配置灵活,可根据不同应用场景支持多功能模块化定制;
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    数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料;

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    产品应用

    广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。

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    建议配件

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    温控台Mapping扩展模块真空泵透射吸附组件
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    icon_pdf.gifSE-VM光谱椭偏仪产品彩页.pdf

    文件大小: 2.45 MB
    版本: 1.8.1
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