概述

VP真空泵作为穆勒矩阵椭偏仪/光谱椭偏仪/膜厚仪的配套组件，可用于样件负压吸附测量。

特色功能

■ 支持2/4/6/8/10/12寸样件吸附测量；

■ 支持吸附气路路径定制设计；

■ 体积小巧，静音集成；

■ 提供负压-45kpa吸附

应用场景 

应用各式光学分析仪器的于样件负压吸附，定位快速测量。

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  发布时间：2021-08-08 15:06

  永久有效

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