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刘世元博士应邀参加第7届国际光谱椭偏大会并做大会报告
OPTICS NEWS
2016-06-15

2016年6月4日至10日,颐光科技首席科学家刘世元博士应邀赴德国柏林参加了第7届国际光谱椭偏大会(The 7th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry, ICSE-7)。会上,刘世元博士做了题为"Mueller matrix ellipsometry: A power tool for nanostructure metrology "的大会主题报告,成为首位受邀在该会议上做大会主题报告的华人学者,代表着我国在光谱椭偏学领域研究的发展已日益得到国际同行的重视与认可。

椭偏仪|穆勒矩阵椭偏仪|膜厚仪|椭圆偏振光谱仪|薄膜厚度测量

在报告中,刘世元博士从研究背景与动机、穆勒矩阵椭偏仪仪器研制、计算测量理论与方法、以及穆勒矩阵椭偏仪在纳米结构测量中应用四个方面详细介绍了颐光科技近年来的研究成果。刘世元博士指出纳米结构椭偏散射测量本质上是一种基于模型的计算测量,其面临可测量性、误差分析与测量不确定度评估、测量条件优化配置、正向模型快速精确求解、以及待测参数快速提取等基础科学问题与关键技术挑战。通过对多种典型纳米结构开展得大量探索性实验研究,阐明椭偏散射测量技术为批量化制造中纳米结构三维形貌非破坏性、在线、精确测量开辟了全新途径。最后,刘世元博士介绍了光谱椭偏测量技术在中国的发展现状,并对该技术未来的发展进行了展望并提出了若干建议。

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国际椭偏大会创办于1993年,目前每隔3年举办一次,已连续举办了7届,是目前国际上最大规模的光谱椭偏学会议。本次大会共设大会主题报告6个,邀请报告和口头报告90余个,墙报报告190余个,吸引了来自美国、加拿大、德国、瑞典、日本、以及中国等数十个国家和地区500多位专家学者。

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       会后,应德国物理技术研究院(Physikalisch- TechnischeBundesanstalt, PTB)博内德·博德尔曼(Bernd Bodermann)博士的邀请,颐光科技刘世元、江浩、张传维、陈修国、谷洪刚一行5人于10日至12日访问了PTB长度所与光学所。刘世元博士在访问期间做了题为“光谱椭偏测量:原理、仪器与纳米测量应”(Spectroscopic Ellipsometry: Principles, Instrumentation, and Applications for Nanometrology)的学术报告,双方就计量型椭偏仪研制、纳米结构椭偏散射测量方法溯源、国际阿伏加德罗常数计量项目(Internation Avogadro Project)等问题展开了细致的讨论,并就未来的研究合作达成了初步的意向。

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