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IC行业纳米测量应用解决方案
  • 行业背景

        IC设计(Integrated Circuit Design)称为集成电路设计,是运用专业的逻辑和电路设计技术设计集成电路。根据世界半导体贸易组织(WSTS),2014年全球IC /半导体销售额达到3,254亿美元,同比增长6.48%,2015年销售额达到3610亿美元,增长率为25%。预计未来五年仍是IC设计行业高速发展的黄金时期。

    面临挑战

        IC纳米制程工艺中,集成电路的精细度高,也就是说精度越高,生产工艺越先进。在处理器内部集成更多的晶体管后,可实现更多的功能和更高的性能,直接降低了处理器的生产成本,减少处理器的功耗。但随着集成电路中的工艺节点越来越小,关键尺寸测量也同时面临越来越大的挑战。这样如何测量分析纳米结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息显得尤为重要。

    解决方案

        ME-L系列穆勒椭偏仪根据测量到椭偏参数(Ψ :振幅比,△:相位差),通过内置数百个光学模型进行拟合可一次性测量分析纳米结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息。

    1.建立光学模型

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    2.建立光学模型

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    客户价值

    ME-L系列椭偏仪非常适用于纳米级光栅的结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息的测量与分析,并能快速一次性完成其多个重要参数测量。同时支持定制化整合于工艺流程实现实时在线监测,大幅度提升企业的整合生产效率。

    关联产品与配置

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    ME-L穆勒矩阵椭偏仪



  • 可参考:ME-L穆勒矩阵椭偏仪

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