一、概述

EOF300反射膜厚仪利用反射干涉的原理进行无损测量，测量吸收或者透明衬底上薄膜的厚度以及折射率，同时提供样品反射率，测量精度达到埃级的分辨率，测量迅速，操作简单，界面友好，搭配机械手，配置兼容六寸/八寸产品的多轴样品台和对位传感器，可对样片进行自动化上料，对位和测量。可应用于光阻、半导体材料、高分子材料等薄膜层的厚度测量，在半导体、太阳能、液晶面板和光学行业以及科研院所和高校都得到了广泛的应用和极大的好评。

■ 高精度定心定向；

■ 支持光片测量；

■ 支持图形片测量；

■ EFEM传输晶圆；

■ 机械手传输晶圆；

■ 支持SECS/GEM通讯

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  发布时间：2025-06-08 15:06

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