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    微光斑组件
  • 概述

    配套于穆勒矩阵椭偏仪/光谱椭偏仪的升级组件,可配合可视化调平系统集成消透明基底背反设计,可针对小样件,非规则测量透明基底区域实现快速消背反椭偏测量。

    特色功能

     支持100*100μm/200*200μm尺寸定制

    ■ 支持超小微光斑30*50μm等不同规格定制开发;

    ■ 集成消透明基底背反光路以及算法设计;

    ■ 可配合可视化调平系统模块

    应用场景 

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      发布时间:2021-08-08 15:06

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