1. 取下待测样品，复位位移台及样品台，正常关闭EometricsPro/EoFilmPro测量软件（避免强制断电导致校准数据丢失），关闭电脑。

2. 关闭前面板光源开关（钨灯、氘灯、氙灯、自准直仪）。

3. 关闭前面板“POWER”或按下“停止”按钮，关闭背部面板船型开关。

4. 关闭真空气泵开关。

5. 断开总电源插座（防雷击/电压波动）。

1. 样品台：清洁台面残留物（避免化学品腐蚀）。

2. 外壳：酒精微湿无绒布擦拭机身，保持干燥。

3. 注意：若环境灰尘较大，建议加装防尘罩（可用无纺布临时覆盖）。

防潮比防尘更重要

若实验室无恒湿系统，可在仪器旁放置干燥剂盒（如硅胶袋），南方潮湿地区建议额外开启小型除湿机（设定湿度≤50%）。

1. 开机前环境检查：实验室温度最好控制在20-26度之间，湿度最好控制在35%-60%之间，开空调和除湿机，使实验室的温度、湿度都达到相对稳定，再检查设备周围确保无冷凝水。

2. 首次启动：总电源插座通电，打开背部面板船型开关，开启设备“power”按钮，打开设备光源（钨灯、氘灯、氙灯、自准直仪），开启气泵开关和电脑。注意：光源需预热30分钟以上（稳定光路）。

3. 标样点检：待光源稳定后打开测量软件（EometricsPro/EoFilmPro），用标准样品（100nmSiO2-Si片）做快速点检验证，厚度与标定值差异±1nm为正常。

4. 如有异常请立即联系我司专业人员。

关于我们

武汉颐光科技有限公司是国内专业从事高端光谱椭偏仪及相关光学量测设备研发、制造与销售的高新技术企业，十多年来长期专注于光学量测设备赛道深耕积累，公司以自主创新为驱动，构建了覆盖从科学研究到工业应用的全链条产品体系。

核心产品包括系列化光谱椭偏仪（SE）、反射膜厚仪（SR）、傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）及晶圆形貌量测设备等，广泛应用于半导体、显示面板、光通信、新能源、光学镀膜、应用材料及科学研究等领域，为客户的研发创新与质量管控提供精准、高效的光学量测解决方案。

颐光科技依托母公司上海精测半导体技术有限公司在半导体前道量检测领域的技术优势与产业资源，深化协同创新与技术融合，持续推动高端光学量测仪器的自主化与产业化发展，助力中国精密制造与科技创新进程，立志成长为值得用户信赖的光学量测品牌。