特征：

· 全基片分布信息测量能力

· 支持图像识别，Pattern区测量

· 用户自定义Recipe，一键调用

· 支持2/4/6/8/12寸全基片定位测量

特征：

· 单抛/双抛等多种模式选择支持

· 自定义Mapping功能

· 高检测速率：Si标准外延片测量25点≤3min

· 高检测精度：≤0.01um

特征：

· 紧凑集成化设计，小巧轻便

· 人性化设计，极致用户操作体验

· 丰富的材料数据库及算法模型库

· 支持2/4/6/8/12寸定位测量

关于我们

      武汉颐光科技有限公司(Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd.)是国内专业从事高端椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的高新技术企业。公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办，与华中科技大学紧密合作，是国内椭偏光学仪器领域颇具优势的技术团队。

      公司注册于武汉东湖国家自主创新示范区，立足光谷，面向全球，为科研和工业用户提供仪器、软件、服务等综合解决方案。

      产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜、光刻材料等众多领域。