扩市场需求-增发展后劲
年末新热潮
—A NEW YEAR-END BOOM—
颐光科技助力2000亿专项贴息贷款科学仪器采购申报
助企纾困
HELP ENTERPRISES TO BAIL OUT
9月13日,国务院总理李克强主持召开国务院常务会议,决定进一步延长制造业缓税补缴期限,加力助企纾困;确定专项再贷款与财政贴息配套支持部分领域设备更新改造,扩市场需求、增发展后劲,主要集中在科研机构、高校、职业院校、医院、中小型企业等领域,总体规模将近1.7万亿。
人民银行设立专项贷款
9月28日,中国人民银行宣布设立设备更新改造专项再贷款,额度2000亿元以上,支持金融机构以不高于3.2%的利率向10个领域的设备更新改造提供贷款。加上此前中央财政贴息2.5%的政策,今年第四季度内更新改造设备的贷款主体实际贷款成本不高于0.7%。
颐光科技
武汉颐光科技有限公司是国内专业从事高端椭偏仪及光学纳米测量设备研发、制造与销售的高新技术企业。
公司介绍
作为国内椭偏测量领域的标杆企业,公司拥有非常强大的技术团队,现有员工50%以上拥有硕士或博士学位,同时与华中科技大学紧密合作,为科研和工业用户提供仪器、软件、服务等综合解决方案。
产品应用
公司产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、显示材料、LED照明、存储、生物、医药、化学、光学镀膜、光刻材料等众多领域。
产品介绍
椭偏仪系列产品
1
ME-L穆勒矩阵椭偏仪
介
绍
*全自动变角,对焦技术
*光学/结构各向异性表征能力
*双旋转补偿器同步控制技术
*纳米光栅结构表征能力
2
SE-VM光谱椭偏仪
介
绍
*快速无损,高精度测量表征
*可视化样件台调平技术
*微光斑集成,消背反测量能力
*模块定制化,多功能扩展能力
3
SE-VE光谱椭椭偏仪
介
绍
*紧凑集成化设计,小巧轻便
*人性化设计,极致用户操作体验
*丰富的材料数据库及算法模型库
*一键快速测量,使用便捷
4
ME-Mapping光谱椭偏仪
介
绍
*全基片分布信息测量能力
*支持图像识别,pattern区测量
*用户自定义Recipe,一键调用
*支持2/4/6/8/12寸全基片定位测量
膜厚仪系列产品
1
SR-C反射膜厚仪
介
绍
*非接触、非破坏式测量
*单点测试时间小于1秒
*配置灵活,支持在线集成
*免费定制数据库
2
SR-M显微膜厚仪
介
绍
*光斑可到2um
*支持图像定位识别,定位测量区域
*用户自定义Recipe,一键调用
*配置CCD相机,使用便捷
3
SR-Mapping膜厚仪
介
绍
*紧凑集成化设计,小巧轻便
*人性化设计,极致用户操作体验
*丰富的材料数据库及算法模型库
*支持2/4/6/8/12寸定位测量
技术优势
全穆勒矩阵测量
仪器基于双旋转超级消色差补偿器偏振调制技术,可一次性同时测量偏振信息的全穆勒矩阵(Muller Matrix)16个元素,代表当今椭圆偏振调制技术的最高水平。相比于传统单轴旋转偏振调制系统,高精度双轴旋转偏振系统不仅可以覆盖常规单轴旋转偏振调制测量需求,还可以满足最新科研中所遇到最新有机半导体材料、二维材料所体现的各向异性和纳米光栅结构形貌参数等单轴旋转偏振技术难以测量表征的需求。
精密校准算法
颐光科技自主研发的PCrSCrA(双旋调试)精密校准算法相较于常规PCrSA算法(单旋调制),基于数倍于测量偏振数据校准测量光路,大幅度提升了测量精度及扩大了应用场景。设备通过搭配宽光谱消色差波片和超灵敏的CCD光谱探测器,再结合PCrSCrA校准算法,可在全光谱精准校准下探测到深紫外( DUV )190nm波段。
<SiO2/Si深紫外波段区域数据拟合图>
微光斑探测技术
颐光科技可提供30μm*50μm、80*100μm、100*120μm、200*240μm等多种尺寸探测光斑,并支持特定应用场景微光斑光路以及尺寸定制化,同时结合消背反光路,可完全消除双抛透明衬底/半透明衬底的背面反射无效信息。
纳米光栅grating表征能力
仪器采用自主研发的Grating建模分析算法模型,深度解析纳米光栅Muller Matrix偏振光谱,精准提取对称/非对称纳米压印结构,获取高深宽比纳米柱阵列结构信息。
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