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上海精测半导体国内首台独立式OCD设备与国内唯一Review SEM设备顺利出机中芯国际
OPTICS NEWS
2021-07-15

     

     

         2021年7月13日,在上海精测半导体技术有限公司成立三周年之际,经过全体精测人的努力拼搏,我们迎来了属于自己的荣耀时刻——国内首台12寸独立式光学线宽测量设备(OCD与国内唯一12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)顺利出机。上海市、青浦区各级领导,股东代表,重要客户代表,精测电子集团董事长莅临参加此次出机仪式,各方均对上海精测半导体过往的成绩给予诚挚肯定,对未来的发展表达殷切期许。

 

     傅新华副主任代表上海市集成电路产业主管部门向上海精测半导体正式向国内一流先进制程晶圆厂推出自主研发的量测设备表示祝贺。他指出集成电路作为数字经济的基础,支撑信息产业发展和数字化转型。集成电路设备是工艺开发的基础,希望上海精测半导体进一步在上海集聚资源,加大研发投入,加快核心技术攻关,尽快成长为全球量测设备的龙头企业。希望青浦区继续支持上海精测的发展,做好属地服务工作,共同支持上海精测在青浦建设半导体业务总部及高端量测设备制造基地。希望各方能够总结经验,立足当前,着眼长远,继续增强工作的积极性、主动性、创造性,为上海集成电路产业高质量发展做出新的贡献。

     倪向军副区长代表青浦区向上海精测半导体国内首台12寸独立式OCD设备与国内唯一12寸Review SEM设备顺利出机表示祝贺。她回顾,三年前我们在这里共同见证上海精测半导体的成立、展望半导体检测装备行业的未来。经过三年的技术积累与奋力拼搏,三年后的今天,我们再次聚在一起,迎接上海精测半导体出机仪式的重要时刻。青浦区营商环境已然就绪,将持续发展软信产业,助力精测,助力青浦,助力上海!

 

         马骏总经理表示:不积跬步无以至千里。上海精测半导体从成立之初就始终秉承着核心组件自研的原则,在半导体前道量测检测设备领域不断向高精尖的领域不断发展;与此同时,也在不断扩大产品线,并将在不远的将来逐步覆盖半导体前道检测应用的主要技术领域。上海精测半导体一定会在技术前沿的道路上越走越稳,越走越远。



国内首台12寸独立式

光学线宽测量机台

OCD

       12寸独立式光学线宽测量机台(OCD)是该类型的国内首台机台,主要用于45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测,并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。EPROFILE 300FD测量系统拥有完全自主知识产权,包括宽谱全穆勒椭偏测头、对焦对位系统、系统软件等核心零部件均为自主研发,是真正意义上的高端国产化机台。

    配套EPROFILE 300FD, 上海精测还同时发布了新一代电磁场仿真建模工具J_ProfilerTM V3.0;  该款软件允许用户在数百核的高速建模运算服务器上进行OCD建模与库匹配,可以在获取复杂三维纳米结构光谱变化信息后,实时高速的对于纳米结构的各个维度精确值进行计算。

   EPROFILE 300FD和J_ProfilerTM V3.0将为国内高节点产线提供稳定、实时、高速的量测解决方案。



国内唯一12寸全自动

电子束晶圆

缺陷复查设备

Review SEM

         12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)是上海精测半导体的另一项主力产品。公司从底层开发做起,扫描电子显微镜、配套扫描成像电路等关键核心部件均为自主设计,自主知识产权,并用了近两年的时间打通了电子显微镜核心零部件加工的国产化供应链。此次出厂的机台配备了基于深度学习的高准确率智能化自动缺陷检测与分类算法,将进一步帮助客户提升缺陷复查分析的效率并显著提升设备使用的便捷性。


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