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“高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪研制与纳米测量应用”入选“2020年度华中科技大学重大学术进展”
OPTICS NEWS
2021-01-06

“2020年度华中科技大学重大学术进展”评选活动入选成果揭晓。参评对象为2019年年1月1日-2020年6月30日由教师为主要研究者正式发表、出版或鉴定的成果。成果通过各院系学术委员会或校学术委员会委员两种渠道推荐,先后经过校学术委员会各学科分委员会会议初评、校学术委员会全体委员通讯评议遴选、校学术委员会主任会议提名、校学术委员会全体会议投票产生了最终9项入选成果。

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年度重大学术进展入选成果强调参评的学术成果应对相应学科或教育教学起到引领或推动作用或产生了重大社会影响,强调成果在评选年度取得实质性突破。

“高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪研制与纳米测量应用”项目(完成人:刘世元,陈修国,张传维),研制出并成功产业化(武汉颐光科技有限公司)我国第一台高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪,测量重复性优于0.002 nm,为目前国际最高水平。研究成果已实现成果转化和产业化,并获批量销售,打破了长期以来国外企业对我国高端椭偏仪市场的技术垄断。以团队成果为基础开发的测量设备,已批量进入长江存储产线,为目前IC制造前道工艺中纳米结构三维形貌在线测量唯一国产设备。

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“2020年度华中科技大学重大学术进展”揭晓 

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