一、概述

       SR-i 在线膜厚监测装备采用行业领先微纳米薄膜光学测量创新技术，快速、连续监测工业产线上各式薄膜的膜厚以及光学常数，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。

二、产品特点

■ 反射膜厚测头与电控系统结构示意图

■ 支持编辑测量路径，连续监测并导出数据图表

■ 可在线模块化定制，结构紧凑、布点灵活、完美集成各式在线设备中；

三、产品应用

       SR-i广泛应用于工业产线级片对片，卷对卷薄膜膜厚连续在线自动化监测。

SR-i 膜厚测量头技术规格：

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  发布时间：2021-08-08 15:06

  永久有效

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