椭偏测量 是一种基于模型的间接测量方法,需要建立光学特性模型,然后通过求解逆问题才能获得感兴趣的信息。
一般而言,椭偏仪的膜厚测量精度优于0.1nm,光学常数测量精度优于10-4
•椭偏测量获取的是光与样品作用后的偏振态改变,可以用振幅比Y和相位差D这两个椭偏参数来表征。
椭偏仪 测量是一种高灵敏度、自参考、非破坏的光学测量方法,具有极为广泛的应用。
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