椭偏仪 作为一种快速、无损的微纳米级别薄膜以及纳米结构精准表征方式，可测量薄膜的微纳米级膜厚以及光学常数。
近年来，发光二极管(LED)照明、有机发光(OLED)显示、光伏太阳能等新型光电子器件，代表了国家重大新兴战略产业。
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他们可有个共性：
都是百纳到几个纳米超薄层状纳米薄膜或纳米结构堆叠而成
这样会涉及到结构形貌调控（多层薄膜膜厚值，纳米结构尺寸）以及光电特性调控（材料的光学常数）
椭偏仪 会收到由样件引起偏振信息改变量，进行全光谱处理计算，获取椭偏光谱(Psi/Delta)，通过后续的正向建模、逆向拟合得到薄膜膜厚以及光学常数信息。
椭偏仪 可快速，无损获取光电器件结构中单层到多层薄膜的每一层薄膜值、光学常数以及纳米结构尺寸信息。
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